大连海璐科技有限公司
2021-05-17 00:00 · 全文 264 字 · 约 1 分钟
| 内容分类 | 软件互联网 |
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| 来源 | 大连海璐科技有限公司 |
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在半导体工厂，对于高纯氧气PO2的流量监测，因为现场管道为1英寸EP管，故此采用带EP管段式的热质流量计（可参考图示）。 它的表头和管段之间采用VCR接口方式，以方便日后每年1次的年度校准，拧下VCR的公头即可。该流量计管段和现场管道采用焊接方式；表头可显示瞬时质量流量和累积质量流量；同时可通过4-20mA/MODBUS等输出方式将数据传递给上位主机。该流量计具有1级精度、原气标定、重复性好、免维护和寿命长等特点，已经成为半导体工厂对于PO2、GN2、HPCDA、MPCDA、PHe、PAr、GH2等气体流量监测的优先选择。